Pusvadītāju ražotnei bija nepieciešams pielāgots PTFE iegremdēšanas sildītājs mitrā stenda procesa tvertnei. Sildītājs tika izveidots pareizi, ņemot vērā termisko slodzi, ķīmiju un telpas ierobežojumus. Tas tika uzstādīts un veiksmīgi darbojās trīs mēnešus. Tad rūpnīcas kvalitātes nodaļa pieprasīja dokumentāciju klienta auditam. Sildītāja piegādātājs nevarēja nodrošināt materiālu izsekojamību, virsmas apdares sertifikāciju vai ekstrahējamos datus. Sildītājs tika izņemts no ekspluatācijas līdz dokumentācijas iegūšanai.
Pusvadītāju ražotnēm ir dokumentācijas un sertifikācijas prasības, kas pārsniedz sildītāja elektriskās un termiskās specifikācijas. Prasības attiecas uz materiāla tīrību, virsmas apdari, ekstrahējamiem materiāliem un izsekojamību. Pielāgotam PTFE iegremdējamam sildītājam pusvadītāju apkalpošanai ir jāatbilst šīm prasībām, un piegādātājam ir jāiesniedz dokumentācija, kas to pierāda.
Materiāla izsekojamība un tīrība
Pusvadītāju sildītājā izmantotajam PTFE jābūt izsekojamam līdz sveķu partijai. Piegādātājam ir jāiesniedz polimēra analīzes sertifikāts (CoA), kurā norādīts partijas numurs, ražotājs un galvenās īpašības-molekulmasa, kristāliskums un piemaisījumu līmenis.
PTFE jābūt neapstrādātam, nepildītam polimēram. Pildīts PTFE-, kas satur stiklu, oglekli vai citas piedevas-, nav pieņemams, jo pildvielas var izskaloties procesa vannā. Polimēram jāatbilst procesa tīrības prasībām, parasti ar ekstrahējamiem joniem zem noteiktām robežām.
| Dokumentācija | Ko tas apliecina | Tipiska prasība |
|---|---|---|
| Sveķu CoA | Partijas izsekojamība, īpašības | Molekulmasa, piemaisījumu līmenis |
| Materiālu sertifikācija | Virgin PTFE, bez pildvielām | 100% neapstrādāts PTFE |
| Izvelkamo materiālu pārskats | Jonu piesārņojums | <50 ppb per ion |
| Virsmas apdares atskaite | Ra vērtība | <0.4 μm Ra |
| Izmēru pārbaude | Pielaides atbilstība | Pēc zīmējuma |
Materiālu izsekojamības un tīrības dokumentācija pusvadītāju PTFE sildītājiem
Virsmas apdare un tīrība
Pusvadītāju procesiem ir nepieciešamas gludas, tīras virsmas, kas neuztver daļiņas un neizdala piesārņotājus. PTFE apvalka virsmas apdarei jābūt 0,4 μm Ra vai labākai. Rupjāka virsma var saturēt daļiņas un veicināt bioplēves veidošanos.
Pirms uzstādīšanas sildītājs ir jāiztīra un pasivēts. Tīrīšanas procesā tiek noņemti ražošanas atlikumi, eļļas un daļiņas. Pasivēšanas process nodrošina, ka virsma ir ķīmiski inerta un neizlaiž procesa vannā piesārņotājus.
Virsmas apdares ziņojums un tīrīšanas sertifikāts apliecina sildītāja tīrību. Ziņojumā jāiekļauj mērījumu metode, paraugu ņemšanas vietas un rezultāti.
Ekstrahējamo un izskalojamo vielu pārbaude
Ekstrahējamo vielu testēšana mēra jonu, organisko vielu un daļiņu izdalīšanos no sildītāja procesa šķidrumā. Pārbaude ietver sildītāja iegremdēšanu īpaši tīrā ūdenī vai reprezentatīvā procesa šķidrumā noteiktā laika periodā darba temperatūrā, pēc tam analizējot šķidrumu, vai tajā nav piesārņotāju.
Ekstrahējamo vielu ierobežojumi ir atkarīgi no procesa. Kritiskajiem pusvadītāju procesiem ierobežojumi var būt zemās daļās -uz -miljardu metālu un organisko vielu diapazonā. Pārbaudes pārskats dokumentē rezultātus un apliecina, ka sildītājs atbilst procesa prasībām.
| Pārbaude | Ko tas mēra | Tipisks limits | Metode |
|---|---|---|---|
| Metāla ekstrahējamie materiāli | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP-MS |
| Organiskās ekstrakcijas vielas | TOC, specifiskās organiskās vielas | <100 ppb TOC | HPLC, GC{0}}MS |
| Daļiņu izdalīšanās | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | Šķidrumu daļiņu skaitītājs |
| Anjonu ekstrahējamās vielas | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | Jonu hromatogrāfija |
Ekstrahējamo materiālu testēšanas prasības pusvadītāju PTFE sildītājiem
Elektrības un drošības sertifikāti
Sildītājam jāatbilst izgatavotāja elektriskās drošības prasībām. Ziemeļamerikā tas parasti nozīmē UL vai ETL sarakstu. Eiropā tas nozīmē CE marķējumu atbilstoši piemērojamajām direktīvām.
Termināļa korpusam ir jāatbilst atbilstošajam aizsardzības līmenim,-parasti IP66 vai NEMA 4X. Sildītājam jābūt saderīgam ar ražotnes zemējuma defekta aizsardzības sistēmu.
| Sertifikācija | Reģions | Ko tas aptver | Tipiska prasība |
|---|---|---|---|
| UL 499 | Ziemeļamerika | Elektriskā drošība | Sarakstā iekļauts vai atzīts |
| CE | Eiropā | Drošība, EMC | Marķēšana un deklarēšana |
| IP66 | Starptautisks | Iekļūšanas aizsardzība | Termināla korpuss |
| ATEX | Eiropā | Sprādziendroša{0}} | Ja uzliesmojoša atmosfēra |
| SEMI S2 | Pusvadītājs | Drošības vadlīnijas | Fab prasība |
Elektrības un drošības sertifikāti pusvadītāju PTFE sildītājiem
Izsekojamības un dokumentācijas pakete
Pusvadītāju sildītāja dokumentācijas paketē ietilpst materiālu sertifikāti, virsmas apdares ziņojums, ekstrahējamo materiālu pārbaudes ziņojums, elektriskie sertifikāti un izmēru pārbaudes ziņojums. Iepakojumam jābūt izsekojamam līdz konkrētajam sildītāja sērijas numuram.
Pirms sildītāja pieņemšanas iepakojumu pārskata ražošanas kvalitātes nodaļa. Nepilnīga dokumentācija var aizkavēt instalēšanu vai izraisīt noraidīšanu.
Ja standarta sildītāji neatbilst dokumentācijas prasībām
Standarta PTFE iegremdējamie sildītāji netiek piegādāti kopā ar dokumentācijas paketi, kas nepieciešama pusvadītāju apkalpošanai. Pielāgots PTFE iegremdējamais sildītājs, kas paredzēts pusvadītāju apkalpošanai, ietver nepieciešamo dokumentāciju, testēšanu un izsekojamību. Specifikācijas procesam ir nepieciešama procesa ķīmija, tīrības prasības, virsmas apdares specifikācija, ekstrahējamo vielu ierobežojumi un elektriskās sertifikācijas.
