Pusvadītāju ražošanas iekārta, kas nepieciešama, lai kompaktā slapja darba stenda instrumentā nomainītu bojātu PTFE iegremdējamo sildītāju. Pieejamā vieta bija 150 mm plata sprauga gar tvertnes sienu, 400 mm dziļa, ar 100 mm atloka atvērumu. Nepieciešamā jauda bija 2,5 kW. Standarta kataloga sildītāji bija vai nu pārāk plati, pārāk gari, vai arī pārāk augsts vatu blīvums telpai. Iekārtai bija nepieciešams pielāgots sildītājs, kas atbilst slotam un darbojās ar drošu vatu blīvumu.
Lai norādītu PTFE iegremdējamo sildītāju pusvadītāju instrumentam ar ierobežotu vietu{0}}, ir nepieciešama cita pieeja nekā lielas pārklājuma tvertnes norādīšanai. Telpas ierobežojumi ir stingrāki, ķīmija bieži ir agresīvāka, un temperatūras vienmērīguma prasības ir stingrākas. Specifikācijās ir jāsabalansē vatu blīvums, virsmas laukums un fiziskā piemērotība ļoti mazā aploksnē.
Kosmosa ierobežojumu analīze
Pirmais solis ir precīzi kartēt pieejamo vietu. Pusvadītāju instrumentā sildītāja telpu bieži nosaka tvertnes siena vienā pusē, vafeļu nesēja ceļš otrā un tvertnes apakšdaļa zemāk. Pieejamais tilpums var būt neregulāras formas, ko standarta sildītājs nevar aizpildīt.
Galvenie izmēri ir maksimālais platums, maksimālais dziļums, maksimālais augstums un attālums līdz kustīgajām daļām. Atloka atvere nosaka maksimālo sildītāja diametru, ko var ievietot. Iegremdēšanas dziļums nosaka izmantojamo apsildāmo garumu.
| Izmērs | Tipisks ierobežojums | Ietekme uz sildītāja dizainu |
|---|---|---|
| Pieejamais platums | 100-200 mm | Ierobežo sildītāja platumu |
| Pieejamais dziļums | 300–500 mm | Ierobežo apsildāmo garumu |
| Atloka atvēršana | 80-150 mm | Ierobežo sildītāja ievietošanu |
| Iegremdēšanas dziļums | 200–400 mm | Ierobežo apsildāmo garumu |
| Atlaide pārvadātājam | 50-100 mm | Ierobežo izvirzījumu |
Telpas ierobežojumi pusvadītāju mitrā stenda instrumentos
Vatu blīvuma un virsmas laukuma aprēķins
2,5 kW jaudai ar drošu vatu blīvumu 1,0 W/cm² ir nepieciešams 2500 cm² apvalka virsmas. Rīkā ar ierobežotu vietu{5}}, lai sasniegtu šo virsmas laukumu, ir nepieciešama kompakta vairāku{6}}pāreju konfigurācija.
Ja apvalka diametrs ir 50 mm, 2500 cm² nepieciešams 1592 mm apsildāms garums. 400 mm dziļā tvertnē ar 300 mm izmantojamu iegremdēšanu, kas nozīmē sešas gājienus pa 265 mm. Vairāku -pāreju komplekts iekļaujas aptuveni 300 × 250 mm platībā.
| Apvalka diametrs | Virsmas laukums uz 100 mm | Apsildāms garums 2500 cm² | Iziet pie 300 mm | Pēdas nospiedums |
|---|---|---|---|---|
| 32 mm | 100 cm² | 2500 mm | 9 | 300 × 250 mm |
| 40 mm | 126 cm² | 1984 mm | 7 | 300 × 220 mm |
| 50 mm | 157 cm² | 1592 mm | 6 | 300 × 200 mm |
| 63 mm | 198 cm² | 1263 cm² | 5 | 300 × 180 mm |
Vairāku{0}}pāreju konfigurācijas 2,5 kW jaudai ar 1,0 W/cm²
Multi{0}}Pass komplekta ievietošana slotā
Vairāku -pāreju komplektam ir jāiekļaujas atloka atverē un jāiekļaujas pieejamajā spraugā. Saišķis ar 200 mm platumu neietilps 100 mm atloka atverē. Risinājums ir orientēt caurlaides vertikāli tā, lai saišķis būtu šaurs vienā virzienā un plats otrā, un ievietot to caur atloku šaurā virzienā.
Saišķa ar sešām 50 mm diametra ejām, kas izvietotas 30 mm attālumā, ir aptuveni 6 × 50 + 5 × 30=450 mm vienā virzienā un 50 mm otrā virzienā. Ja atloka atvērums ir 100 mm, saišķi var ievietot tā, lai 50 mm izmērs būtu saskaņots ar atvērumu, un pēc tam pagriezt pozīcijā.
| Pakas konfigurācija | Platums (piespēles) | Dziļums (caurlaides diametrs) | Piemērots 100 mm atlokam | Piemērots 150 mm spraugai |
|---|---|---|---|---|
| 4 piegājieni, 50 mm, 30 mm atstatums | 290 mm | 50 mm | Jā (pagriezts) | Jā |
| 5 piegājieni, 50 mm, 30 mm atstatums | 370 mm | 50 mm | Jā (pagriezts) | Jā |
| 6 piegājieni, 50 mm, 30 mm atstatums | 450 mm | 50 mm | Jā (pagriezts) | Margināls |
| 6 piegājieni, 40 mm, 25 mm atstatums | 365 mm | 40 mm | Jā (pagriezts) | Jā |
Komplektācijas konfigurācijas un ietilpība caur atloku atverēm
Vienmērīga plūsma un temperatūra šaurās vietās
Izmantojot -ierobežotu vietu, plūsmu ap sildītāju bieži ierobežo blakus esošā tvertnes siena un vafeļu turētājs. Plūsma var būt nevienmērīga, ar lielu ātrumu vienā pusē un mazu ātrumu no otras puses. Tas var radīt karstos punktus zemā-ātruma pusē.
Perforēts deflektors vai plūsmas virzītājs var vienmērīgāk sadalīt plūsmu ap saišķi. Deflektoram jābūt veidotam tā, lai tas ietilptu pieejamajā telpā un virzītu plūsmu caur spraugām starp ejām. Vietējā ātruma palielināšanai var izmantot arī nelielu audzinātāju.
Materiāli un konstrukcija pusvadītāju servisam
Pusvadītāju instrumentiem bieži ir nepieciešami augstas{0}}tīrības materiāli. PTFE apvalkam jābūt neapstrādātam, nepildītam polimēram ar zemu ekstrahējamo daudzumu. Atlokam jābūt no cieta PTFE vai PTFE{3}}nerūsējošā tērauda. Termināla korpusam jābūt noslēgtam un ventilētam, lai novērstu piesārņojumu.
Pirms uzstādīšanas sildītājs ir jāiztīra un pasivēts. Visas ražošanas eļļas vai daļiņas var piesārņot procesa vannu.
Ja standarta sildītājs nevar ievietot instrumentu
Standarta sildītājs reti iederas{0}}ierobežotas vietas pusvadītāju instrumentā. Pieejamā vieta ir pārāk maza, forma ir pārāk neregulāra, un tīrības prasības ir pārāk stingras. Konkrētajam instrumentam ir izstrādāta pielāgota PTFE iegremdējamā sildītāja konfigurācija ar kompaktu vairāku -pāreju komplektu, cietu PTFE atloku un noslēgtu spaiļu korpusu. Specifikācijas procesam ir nepieciešami pieejamie telpas izmēri, atloka atvērums, iegremdēšanas dziļums, vannas ķīmija, nepieciešamā jauda un tīrības prasības.
