Pēc tam, kad sarežģītie ķēdes raksti ir iegravēti silīcija plāksnītē, aizsargājošajai fotorezista maskai-ir pilnībā un tīri jānoņem stingra, šķērssaistīta polimēra-kārtiņa{2}}. To panāk karstā vannā ar jaudīgiem, agresīviem organiskiem šķīdinātājiem, kas bieži tiek uzkarsēti līdz vairāk nekā simts grādiem pēc Celsija. Iegremdējamajam sildītājam šajā gaistošajā, kodīgajā ķīmiskajā sastāvā jābūt izgatavotam no materiāla, kuru šķīdinātāji nevar izšķīdināt, uzbriest vai piesārņot. PTFE ir ķīmiski kluss, inerts materiāls.
PTFE sildītāju loma fotorezista noņemšanā
Attīrīšanas vannu parasti veido šķīdinātāju maisījums, piemēram, N-metil-2-pirolidons (NMP), dimetilsulfoksīds (DMSO) un spēcīgi sārmaini amīni, kas uzkarsēti līdz 80–110 grādiem. PTFE iegremdējamais sildītājs ir standarta izvēle šim lietojumam. Tā ķīmiski inertais apvalks ir pilnībā izturīgs pret agresīviem šķīdinātājiem, kas citādi uzbruktu standarta plastmasai un korodētu metālus.
PTFE sildītājs nodrošina tīru, stabilu un precīzu siltumu, neizlaižot metāla jonus vai citus piesārņotājus, kas varētu nogulsnēties uz neskartās vafeles virsmas. Nepiedegošā, gludā PTFE virsma iztur izšķīdušu fotorezista atlikumu uzkrāšanos, saglabājot perfekti tīru sildvirsmu vairāku ciklu laikā. PTFE sildītāja fotorezista plāksnīšu noņemšanas process nodrošina vienmērīgu temperatūras sadalījumu un samazina lokālu viršanu vai triecienu, kas varētu traucēt smalkās vafeles.
"PTFE sildītājs ir ķīmiski kluss, karsts pirksts spēcīgu šķīdinātāju vannā, kas noņem masku, neatstājot no sevis nevienu pēdu, vienlaikus saglabājot vafeles neskartu un elektriski nevainojamu."
Drošības apsvērumi
Šķīdinātāja maisījums ir uzliesmojošs, toksisks un bieži tiek darbināts tuvu tā viršanas temperatūrai. Pareiza tvertnes konstrukcija, tostarp noslēgti korpusi, zemējums un ventilācija, ir obligāta, lai novērstu ugunsgrēku, tvaiku iedarbību vai elektrostatiskos draudus. Konservatīvs vatu blīvums ir nepieciešams, lai uzturētu kontrolētu karsēšanu un izvairītos no šķīdinātāja triecieniem vai lokālas pārkaršanas PTFE apvalkā.
Darbības priekšrocības
PTFE sildītāju izmantošana šajā procesā ļauj:
Ķīmiskā imunitāte pret agresīviem šķīdinātāju maisījumiem.
Absolūtas vafeļu tīrības un elektriskās integritātes uzturēšana.
Ilgtermiņa-uzticamība bez korozijas vai degradācijas.
Vienmērīga, -bez atlikumu apkure, kas ir ļoti svarīga-pusvadītāju ražošanai ar augstu ražīgumu.
Secinājums
PTFE iegremdējamais sildītājs ir kritisks, ķīmiski imūns siltuma avots, kas nodrošina tīru un pilnīgu fotorezista atdalīšanu no plāksnēm pusvadītāju ražošanā. Nodrošinot stabilu, bez piesārņojuma{1}}nepiesārņojošu siltumu ļoti agresīvā šķīdinātāja vannā, PTFE sildītājs nodrošina atomu tīrību, kas ir būtiska mūsdienu mikroelektronikai. Ideāla, nevainojama datora mikroshēmas virsma tiek panākta, apvienojot ķīmisko agresiju un inertu, uzticamu karsēšanu.
